半导体厂工艺冷却水系统有哪些设备？

一、半导体厂工艺冷却水系统有哪些设备？

pcw是工艺冷却水系统。首梁

工艺冷却水系统(PCW），亦称制程冷却水系统。主要用于冷却工艺设备，简单来说就是工艺设备者汪运的空调系统。

PCW系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统，冷冻水由冷冻机提供，冷冻水与冷却水进行热陵御交换，使冷却水降温从而降低设备的温度。

从生产设备抽水经水泵至板式换热器通过控制冷冻水的量来保证PCW的水温，通过过滤器后送至生产线设备，再回到水泵。构成PCW闭式循环。冷冻水侧直接回冷冻机。

工艺冷却水系统的注意事项：

冷却水系统中一般包括水箱、循环水泵、精密过滤器、板式换热器、生产设备用水点、水泵变频电气控制、温度传感器、压差传感器、压力传感器、RO补水装置、背压阀、调压阀、阀件及不锈钢管道等。

PCW在半导体厂是个非常重要的系统，出现故障会影响车间内的大部分的生产设备而导致巨大损失，系统自动化程度高，对控制要求较高，主要包括水温、压力、水质以及水泵的控制。

二、我有一台复盛牌空压机油细分离器、空气滤清器、油过滤器都换新的，但是其报警指示不会熄灭，请高人指点指点

需要在电脑面板里面修改时间参数的

不是你给机器换了新配件，机器就知道你换了，现在的机器还没有那个水平。

三、复盛SA-220螺杆型空压机更换油过滤器需要在滤芯里面灌满空压机油嘛?

不用的 新的滤芯直接装上去更换就好了

开机的时候 油自动会循环到那里面的

滤芯里面灌满油再换 反而对更换造成不方便

希望以上回答对你有帮助