切割机可用于切割不同材料,精密切割机更可切割半导体,晶圆,芯片等,目前切旦让穗割技术有三种:刀片切割、激光切割和等离子切割。
刀片切割是指用金刚石刀片切割晶圆,这种方法最为普遍,但容易产生摩擦热和碎屑,需要用纯净水,在切割过程中进行冷却清洗。
激光切割的精度模卜更高,能轻松处理厚度较薄或划片线间距很小的晶圆。
等离子切割采用等离子刻蚀的原理,滑绝因此即使划片线间距非常小,这种技术同样能适用。
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